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非接觸式高精度激光測(cè)振儀可以通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過(guò)顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

高精度激光測(cè)振儀可以通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過(guò)顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

掃描式激光測(cè)振儀LV-SC400通過(guò)在單點(diǎn)激光測(cè)振儀前面加兩個(gè)掃描鏡，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)控制掃描鏡的偏轉(zhuǎn)角度，來(lái)實(shí)現(xiàn)X、Y方向上的掃描測(cè)振；配備攝像系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)人機(jī)互動(dòng)，配備軟件分析系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)二維、三維動(dòng)畫顯示及數(shù)據(jù)分析等。